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為半导体应用选择最佳材料通常是在成本和性能之间取得平衡，以实现最佳的整体拥有成本。

在化學品腐蝕性較小的製程中，我們的氟化橡膠（FKM）材料可提供真空完整性，表現出非常低的 O2 和 H2O 滲透率以及釋氣率也非常低。

这些材料适用於各种应用，例如：传输室和厂务端的应用。在这些应用中，真空完整性对於保持高产量极為重要。

Resifluor™ PureFab™  系列先進的氟化橡膠，具有改良的聚合物結構和低微量金屬含量，可提供卓越的潔淨度。

产物:

• O-Rings
• 客製设计的密封件，包括橡胶对金属和橡胶对塑胶的粘合产物，例如晶圆密封件
• FlexiMold™ 大尺寸无接缝密封件
• 中心環 Centering Rings (NW, KF, ISO)