高性能半导体密封解决方案
在这些条件下,特瑞堡密封系统的高性能密封件脱颖而出,可确保洁净度、耐化学性并延长设备运行时间以实现最大产量。
特瑞堡密封系統的高純度 Isolast? PureFab? FFKM 全氟橡膠材料經過廣泛的開發和測試,可確保極低的金屬析出量和顆粒釋放。低電漿侵蝕率、高溫穩定性、出色的乾濕製程化學耐受性、以及出色的密封性將是可靠密封件的關鍵特性,同時降低整體擁有成本。為了確保產品的純度,所有 Isolast? PureFab? 密封件均在 Class 100 (ISO5) 無塵室環境中生產和包裝
全球的资源协助、在地专家的协助、和专门的半导体专家,这叁大支柱确保了我们从设计、打样、出货、到批量生产阶段都提供一流的服务水平。我们业界领先的的设计协助和数位化工具是提高性能的关键资产。