工程热塑性材料
高性能工程热塑性材料,例如:PEEK(聚醚醚酮)和聚酰亞胺等材料,提供創新的解決方案。這些化合物可承受高工作溫度、表現出良好的耐化學性和抗電漿性、靜電控制和低釋氣性。
事實證明,它們在半導體應用中相當成功,例如:晶圓承載件,需要出色尺寸穩定性和低顆粒釋放的元件。一個成功案例是客製設計的射出成型件和車削加工的 PEEK 環,用於化學機械平坦化 (CMP) 應用。
先进复合材料
特瑞堡密封系统,专门為自动化设备,设计和製造復合材料密封件。
複合材料的高強度和輕量化,使其成為半导体产业中關鍵部位的理想選擇。這些能客製成各種形狀和尺寸,包括圓柱體、圓錐體、箱形梁、工字梁、線圈、平面層壓板和復雜的幾何形狀